SJT 31115-1994 精缩机完好要求和检查评定方法
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ID： |
0B8F2518FBE74A35AF95504B84A0A582 |
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文件大小(MB)： |
0.28 |
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页数： |
3 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 31115-94,精缩机完好要求和检查评定方法,1主题内容和适用范围,本标准规定了半导体器件生产用精缩机的完好要求和检查、评定方法,本标准适用于3696型、3595型、EM250型精缩机,其它型号的精缩机,亦可参照执行,2名词与术语,2.1 主掩膜,在制版过程中,将中间掩模图形进行缩小并分步重复制成图形陈列的版,称主掩模,2.2 镜头实拍分辨率,在标准エ艺条件下,镜头在其视场内可能产生的最小图像尺寸,或单位长度可分辨的最大,线对数目,3完好要求,3.1 主要技术指标,3.1- 1工作台定位精度优于士 0.,3.1. 2工作台最大行程为150mmX 150mm,全程范围内的总精度为士0. 6/zm,3.1- 3工作台位移正交性为土larc second(lRm/m),3.1.4光学镜头在10倍缩小时有效视场为10mmX 10mm实用分辨率为1.25km,3.1-5可制作最大圆形陈列为150mmX 150mm的主掩模,可制作锅版和乳胶干版,有效视场,内光源均匀性为士2. 5%,3.1.6自动调焦系统Z轴运动范围是635Ptm,对版面探测及跟踪精度为士0. 25fzm,3.2操作系统,3. 2.1各操作变速手柄,开关按钮启动灵活、定位可靠、标志齐全,3.2.2制动、限位装置齐全,灵敏可靠,3.3传动系统,3. 3-1伺服工作台机械传动平稳可靠,3.3 -2机械精度间隙、磨损量、平整度,平稳度符合要求。丝杆、导轨润滑良好,3.4 光学系统,3.4.1 各光学另部件的位置精度正确可靠,光栅及光学镜头无尘、无油污、无霉斑、确保视场,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,SJ/T 31115-94,清晰,3.4.2 光学系统零部件齐全完好:,3.4.3 光学调焦装置灵活可靠,3.5 电气系统,3.5.1 电气控制箱内布线整齐,各指示灯齐全完整,指示正确可靠。各种线路标志明显,联接,可靠,3.5.2 伺服工作台控制部分、符合使用技术要求,3.5.3 步距控制及曝光系统正确可靠,3.5.4 电气线路板接触可靠,其它各种接触器、继电器灵敏可靠,3.5.5 各光电传感器工作正常,动作准确,3.5.6 各电流表、电压表指示正确,误差在允许范围内,且有有效期内校验合格证,3.6 气路（压缩空气、真空）系统,3. 6.1为隔震台提供干燥及经过滤的压缩空气（配有专用空压机的,其完好要求按空压机完,好要求执行）,3. 6. 2低压真空泵工作正常,真空泵完好要求参照SJ/T 31412—94执行,3.6.3 各气缸、电磁阀、节流阀工作可靠,3.6.4 气路及真空管道、接头、阀门等元件之间联接牢固,密封性好,无漏气现象;各管路排列,整齐、清洁,3.7 微机控制系统,3.7.1 各开关、按钮、操作键完整无损,动作灵敏、可靠,控制装置各组成部分保持完整、功能,齐全,性能稳定,工作状态良好,显示清晰,3.7.2 显示器能正常显示通电自检的正常信息,微机系统通电自检功能必须正常,3.7.3 输入/输岀程序正确无误,3.7.4 打印机、穿孔机与主机接口良好,工作正常,3.7.5 装置内部清洁,布线整齐,线路无破裂、老化,各线路标志齐全、正确、明显,3. 7.6所有裸露导体件（包括外壳）,必须有良好接地,微机系统任何裸露导体件和整机外壳,之间的接地电阻不得大于0.1,3.8 润滑系统,3.8.1 润滑装置齐全,管线完整,密封性好,无漏油现象,3. 8.2各润滑点清洁无堵塞现象,油路畅通,润滑良好,3.8.3 油质符合规定要求;油位醒目,油窗明亮,油量达标,3.9 附件,附件齐全,保管良好,无锈蚀及损伤,3.10 附属装置,净化间应保持21 士O.rc,相对湿度应小于70%,净化应保持100级以内,3.11 安全防护.,3.11.1 各安全防护装置齐全,可靠,3.11.2 接地可靠,标志明显,3.12 维护保养,3.12.1 设备工作环境温度应保持在18.27 C,相对湿度应保持在75%R丒H以下,2,SJ/T 31115-94,3.12. 2其他按SJ/T 31g2—94《设备维护保养通则》中第三章执行,4.检查'评定方法,4.1 检查方法,4.1.1 用游标测试中间掩膜（见图示）以一定的步距制作3.5块图形陈列,4.1.2 用高精度测长仪器及高倍显微镜检测图形陈列,4.1.3 通过游标①检测设备缩小倍率,4.1.4 通过游标③检测设备角度及定位精度,4.1.5 通过游标②检测设备重复定位精度,4.1.6 通过游标⑦检测镜头实用分辨率及光源均匀性,4.1.7 用干湿度表及尘埃粒子计数器检测净化间环境状况,4.1.8 对各系统完好要求,在设备现场采用主、客观方法相结合,进行检查,4.2 评定方法,⑦,三I,UNICERSAL VERNIER,TEST I'ARGET,卜 SERIAL ~N() 020,lln,a,gca/burl 一,4888- 885 1,REV 82,5. 5 OR 8. 8 MM WCS/JMR AUG. 1978 F￡°NT RIGHT,图示游标测试图形,4. 2.1完好要求所列内容中,3. 1.1.3.1. 6,3.11.1-3.11. 2为主要项目,其余为次要项目,4.2.2 主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,4.2.3 完好设备维护保养应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由国营南京有线电厂组织起草,本标准主要起草人:钱伟训……
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